高分辨率,高精度角度编码器
机械制造业作为基础工业,其发展在国民经济中有着举足轻重的作用,而精密测量技术是它发展的基础和先决条件。测量的精度和效率在一定程度上决定了制造业乃至技术发展的水平。元素周期表的发明者门捷列夫说过:“从开始有测量的时候起,才开始有科学。没有测量,精密科学就没有意义”。新的测量方法标志着真正的进步,测试技术的水平是衡量一个国家科学技术水平的重要标志之一。仅就几何测量仪器的发展来看,在19世纪中叶以前,机械制造业中的主要测量工具是钢板刻线尺,测量精度为1mm。机械式测量器具,如游标卡尺和千分尺的出现,将测量精度提高到了0.01mm。量块出现以后,采用量块作为长度基准,大大推动了微差测量法的发展,将测量精度提高到了微米级。进入20世纪30年代、40年代以后,出现的电动量仪、光学量仪和气动量仪,以及诞生于近20年的激光干涉仪,隧道扫描显微镜,除继续使用机械式测量器具以外,还逐渐采用了基于几何光学与物理光学原理的光学量仪,这都极大的促进了当时技术的发展,为几何量的测量开辟了新的。
随着科学技术和制造业的发展,各个领域对测量微小尺寸的要求越来越迫切,传统的测量技术和设备难以在精度、效率及自动化程度方面完全满足要求,甚至根本无法实现。显然,融合当今的最新科学理论和技术成果,开发高效率的智能化精密测量系统有着重要的理论意义和实用价值。
角度是一个重要的计量单位,角度测量是计量技术的重要组成部分。不仅有以检测角度为目的的角度检测,还有为了检测的方便和可靠,将其他物理量也转换成角度量来进行检测的角位移检测。生产和科学的不断发展使得角度测量越来越广泛地应用在工业、科研等领域,技术水平和测量准确度也在不断提高。
角度测量技术按照测量原理可以分为三大类:机械式测角技术、电磁式测角技术和光学测角技术。机械式和光学测角技术的研究起步较早,技术也已经非常成熟。光学测角方法比一般的机械和电磁方法有更高的准确度,而且更容易实现细分和测试过程的自动化,但使用我公司研究新的电感式测角技术将精度提高至±3″。在高精度角度测试技术领域,各种新型的测角技术不断涌现,成为高精度测角技术的主流方向。随着电子计算机技术的蓬勃发展,使得以近代波动光学为基础的光电检测法得以实现自动化,这极大地扩充了角度测量的应用范围。按照被测角性质可以分为静态角度测量和动态角度测量两种。高精度角度测试技术在静态角度测试领域己经日趋成熟,各种测试理论和方法日益完善。然而,实现动态角度的高