第7章-光学薄膜性能监测技术(3)

青岛大学物理科学学院

第七章

光学薄膜性能监测技术

第7章 光学薄膜性能监测技术

薄膜器件透射光谱测试； 薄膜器件反射光谱测试； 光学损耗(吸收和散射)检测技术； 薄膜抗激光损伤阈值的测试技术； 薄膜光学参数(n和d)测试； 非光学参数(硬度、应力)测试技术；